全球最大半导体设备厂应用材料宣布推出Endura Volta化学气相沉积(CVD)钴金属系统,借由钴金属来包覆铜导线,提供半导体厂快速抢进20奈米以下先进制程。同时,应用材料也推出Endura Ven
全球最大半导体设备厂应用材料全球副总裁余定陆昨(6)日表示,应用材料推出Applied Endura Volta化学气相沉积(CVD)钴金属系统,解除导线技术瓶颈,让摩尔定律持续往下微缩至20奈米以下