全球最大半導體設備廠應用材料宣布推齣Endura Volta化學氣相沉積（CVD）鈷金屬係統 藉由鈷金屬來包覆銅導綫 應材 推齣CVD／PVD新技術 - 趣味新聞網
發表日期 2014-06-09T04:10:44+08:00
趣味新聞網記者特別報導 : 全球最大半導體設備廠應用材料宣布推齣Endura Volta化學氣相沉積（CVD）鈷金屬係統，藉由鈷金屬來包覆銅導綫，提供半導體廠快速搶進20奈米以下先進製程。同時，應用材料也推齣Endura Ven .....
全球最大半導體設備廠應用材料宣布推齣Endura Volta化學氣相沉積（CVD）鈷金屬係統，藉由鈷金屬來包覆銅導綫，提供半導體廠快速搶進20奈米以下先進製程。同時，應用材料也推齣Endura Ventura物理氣相沉積（PVD）係統，協助客戶利用直通矽晶穿孔（TSV）技術快速完成3D晶片産能佈建。
應用材料將鈷金屬層的導入做為齣色的金屬包覆薄膜，是半導體導綫材料過去15年來最重大的變革。Endura Volta化學氣相沉積係統所擁有的兩項新製程步驟，為28奈米以下的銅導綫製程提供主要的技術延伸性，第一項步驟為沉積一層高度完整披覆性的鈷內襯層，可增加細銅導綫中銅的間隙填充能力，第二項步驟是新的「選擇性」化學氣相沉積鈷金屬覆蓋層，此製程是在化學機械研磨後進行沉積以包覆銅綫，可提高可靠性。
應用材料半導體事業群金屬沉積製程産品處資深經理吳紀樺錶示，鈷金屬具有很好的銅黏著性，可以協助銅與其它金屬完整的連結在一起，因為製程進入28奈米以下，特彆是在20奈米世代，隻靠厚度微縮是無法完整填充銅導綫。同時，此一技術將可以延續到14/16奈米或10奈米世代，延續摩爾定律持續走下去。
吳紀樺分析，利用鈷金屬進行化學氣相沉積製程，並用來完整包覆銅導綫，可以阻止銅及介電材料上的相互影響。 事實上，當製程微縮愈來愈小，會齣現電遷移失效的問題，當強大電流在走動時，銅原子也會跟著同方嚮移動，若後麵銅原子無法填補上就會齣現導電不佳問題，所以，利用鈷金屬的選擇性沉積在銅導綫，可以解決銅及介電材料間覆著性太弱問題，進而解決電遷移失效，這是業界唯一的創新技術。
(工商時報)
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2014年世界半導體理事高峰會（WSC）昨（22）日在颱北盛大舉行，這是WSC第二次在颱灣召開大會。颱積電董事長張忠謀受邀發錶專題演講，再次強調物聯網將是半導體産業「Next Big Things」，而要掌握此一商機，包括係統封裝（SiP）製程、微機電（MEMS）感測元件、超低功耗技術等3個産業技術發展缺一不可。WSC是由美國、日本、颱灣、韓國、歐盟、中國等地的半導體行業協會所組織而成。颱灣半導體協會（TSIA）在1999年以非創始會員國身份加入WSC，初始並沒有主辦會議的權利，經過多年的爭取後.......
推中職明星賽住房專案
繼去年獲中職青睞，一嚮支持運動賽事的中壢古華花園飯店，今年再次獲得「2014中華職棒全壘打賽」及「2014中華職棒JOHNSON明星對抗賽」於7月26日至27日桃園國際棒球場舉行時的指定飯店。古華飯店今年再次推齣獨傢明星賽包套住房專案迴饋球迷，日前與中職展開套票同步預售，目前飯店的包套專案僅剩最後限量50套，除瞭住房專案內含的明星賽套票每人一組外，另再贈送2014中華職棒JOHNSON明星對抗賽紀念球每人一顆，沒搶到預售票的球迷，不妨可把握最後機會訂房。明星賽包套住房專案有適閤2人、3人、4人房.......
推齣5大雲服務 和信雲端槓上亞馬遜
那斯達剋上市公司和信超媒體（GigaMedia）旗下的和信雲端（GigaCloud）近期調整公司定位，以提供大、中、小型企業所需的私有雲及公有雲、甚至混閤雲服務，該公司目前推齣的雲端服務有桌麵雲、儲存雲、總機雲、傳真雲與影像雲等五大服務。和信雲端錶示，該公司將以美國亞馬遜的雲端服務為主要競爭對手。和信雲端以Saas（Software as a Service，軟體即服務）的雲端服務為主，希望能整閤並提供Iaas（Infrastructure as a Service，基礎架構即服務）、Paas（.......
推動4G普及 政院動起來
4G業者提前開颱，行政院運用150億元扶植4G行動寬頻應用計畫決急起直追，本週五(20日)行政院將召開首次指導小組會議。科技政委蔣丙煌錶示，將訂定關鍵核心指標值（KPI），督導各部會加速在年底或明年將4G創新應用服務上架，幫助4G普及化。中華電信等業者陸續宣布4G提前開颱，行政院科技會報上週趕審扶植4G行動寬頻計畫，包括流行音樂及影音平颱，故宮行動博物館，寬頻應用智慧城，智慧商圈等多項計畫，通過第一關政策審，將進入科技部第二關技術審。104年預算匡列4G應用經費70億元，對明年科技預算成長不大下.......
揚智、百一 閤攻機上盒
機上盒係統晶片廠揚智昨（6）日宣布，與製造商百一閤作推齣一係列機上盒産品，目標鎖定新興國傢市場。據瞭解，雙方正密切與一級CA係統商閤作，將針對東南亞、俄羅斯、拉丁美洲等新興國傢的付費電視市場提供高規産品。新興國傢除金磚四國外，歐非中東、拉美及東協十國等地區，皆逐步進入數位電視時代，據Digital TV Research研究報告指齣，拉丁美洲的付費電視滲透率估計將於2018年達到53％，商機將超過267億美元。在東南亞方麵，泰國的T2電視廣播係統預計在2014年可完成布署並啓用。揚智錶示，與百一.......
揚發連續水洗機 高效率
揚發公司專業製造各種連續式水洗機，包括PCB連續式水洗機、BG A連續式水洗機、BGA封裝電路基闆水洗機、沖壓零件連續式水洗機，Wafer自動化水洗機、SMT連續式迴焊機，以及TFT/LCD連續式水洗機。其製造技術與産品跨足PCB、SMT、半導體、光電及自動化産業，在高科技及自動化産業用之連續式水洗機的領先地位與市場占有率。該公司副理許誌強錶示，為瞭降低TFT/LCD、半導體封裝、主基闆及電路闆製程中清洗之不良率，連續式水洗機採特殊設計網袋，以及雙層輸送結構設計，已獲多項新型專利。配閤伺服輪輸送.......
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