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龍華科技大學丁鯤副校長、堤井信力教授、劉沖明主任及宋大崙副研發長發明之「電漿特性量測探針」獲得中國國際工業博覽會「中國國際工業博覽會創新奬」。
中國國際工業博覽會本月5日至9日在上海新國際博覽中心舉行,除八韆多傢企業外,更有兩岸知名校院參與,共計展齣八萬多項發明産品。
這次龍華科大獲奬的「電漿特性量測探針」是利用駐波原理設計,可以消除高頻乾擾的電漿特性探針。高週波的電漿應用於半導體的鍍膜及蝕刻、工具鍍膜及錶麵處理,利用探針可獲得電漿特性以改良製程,但高週波會乾擾探針量測,因此利用駐波原理來消除高週波的乾擾,可以更簡單迅速地獲得精確的電漿參數。
龍華科大長期推動創新創意教學特色,鼓勵師生投入研究發展工作,再將創意與發明成果商品化或産業化。這次獲得「中國國際工業博覽會創新奬」且為台灣參展唯一獲奬之作品。
(中廣)