而LG顯示也在同時間宣布完成對韓國本土生産的高純度氟化氫測試 符閤産量和成本要求 【玖越機器人】受日本管製三年後，韓國半導體材料依然難以擺脫陰霾 - 趣味新聞網

於是尋找氟化氫的替代供應商成為瞭當時韓國半導體行業的重點工作。很快，他們將目光投嚮中國、俄羅斯等，LG顯示、SK海力士等都傳齣正在測試中國産氟化氫的消息。僅2個月後，在2019年9月SK海力士宣布其位於中國無锡的半導體工廠已經完全使用中國生産、韓國提純的氟化氫取代日本産品。

而LG顯示也在同時間宣布完成對韓國本土生産的高純度氟化氫測試，符閤産量和成本要求，並開始在OLED麵闆産綫上使用。不過相比與半導體芯片，顯示麵闆生産中所使用的氟化氫純度要求相對較低，也更容易完成替代。

SK Materials在2020年6月，宣布實現99.999%（5N）高純度的氟化氫氣體量産，這個時間節點剛好是日本對韓實施齣口管製一周年。另一傢韓國化工企業SoulBrain在更早前就宣布，將在韓國國內設立高純度氟化氫工廠，生産純度達到99.99999999%（10N）的氟化氫，並將雜質降低至萬億分之一。據瞭解，Soul Brain是國內氟化氫供應商多氟多的長期客戶，在今年雙方剛簽訂瞭新的長期采購協議，並預付瞭2.37億元的預付款。但SoulBrain具體現在有沒有實現10N級氟化氫量産，目前還未找到相關公開資料。

不過，單從純度來看，韓國依然無法産齣與日本相同品質的氟化氫産品，以森田化學為例，他們所供應的氟化氫純度可以高達99.9999999999%（12N）。據業內人士介紹，氟化氫的純度每高萬分之一，對於DRAM芯片而言在製造過程中的精準度就會提高0.1%，可以提高良率和降低生産成本。

除瞭氟化氫之外，去年年底韓國光刻膠供應商Dongjin Semichem宣布，與三星電子閤作研發的EUV光刻膠，通過瞭三星電子的可靠性測試。三星電子在近兩年時間中投資瞭9傢半導體材料和設備相關公司，包括半導體測試設備、晶圓清洗設備、氟化氫、封裝用陶瓷、掩膜版等，總投資金額近2800億韓元（約14.5億人民幣）。其中，近日有消息稱，三星顯示開始嘗試導入韓國國産的OLED金屬掩膜，而此前OLED用的精細金屬掩膜（FMM）是由日企DNP（大日本印刷）占據壟斷地位。

今年2月，韓國石化和電子材料製造商Jaewon Industrial宣布實現瞭丙二醇甲基醚乙酸酯（PGMEA）的商業化，PGMEA是半導體製造中常用的溶劑，比如在EUV曝光過程中，清洗沒有光敏反應的部件上的光刻膠，而EUV工藝需要純度為99.999%以上的PGMEA。Jaewon Industrial預計在今年上半年，自産PGMEA可以被用於EUV工藝中，未來每年可以減少約1000億韓元（約5億人民幣）的進口溶劑。

另外，由於俄烏衝突造成的氖氣等電子特種氣體供應緊張，韓國電子特氣廠商TEMC錶示近期完成瞭高純度氖氣生産設備的安裝，設計年産能約22000標準立方米，相當於韓國需求的16%，下半年開始供應。

寫在最後

麵對其他國傢的齣口管製，中國可能是最有發言權的瞭，近幾年海外針對我國高科技行業的製裁、齣口管製等層齣不窮。與韓國類似的是，中國並不缺芯片設計技術的能力，而是上遊材料、設備、設計軟件等對外的嚴重依賴。而整個半導體産業鏈是高度垂直分工的，因此整體發展需要全産業鏈的協同，上遊材料和設備等發展，需要下遊製造企業的支持。比如像三星電子與Dongjin Semichem閤作研發光刻膠的模式，就是由三星電子提供測試環境。

好消息是，中國擁有足夠大的市場需求，經過近10年的發展，在半導體材料部分細分領域上，比如中國唯一通過ASML認證的氣體公司華特氣體、靶材供應商江豐電子等等，已經能夠跟上國際同期領先水平。當然，這距離半導體全産業鏈國産替代，依然有很長的路要走。