榮獲全國五一勞動奬章！復旦教授張衛深耕集成電路領域28年 - 趣味新聞網

日前

2022年全國五一勞動奬和全國工人先鋒號揭曉

復旦大學微電子學院教授張衛

榮獲全國五一勞動奬章

今年獲這一奬章的

全國總共966人

此外

200個集體獲全國五一勞動奬狀

956個集體獲全國工人先鋒號稱號

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張衛教授

復旦大學微電子學院院長、校學術委員會副主任、“極大規模集成電路製造裝備及成套工藝”國傢科技重大專項技術副總師、國務院特殊津貼獲得者。

4月29日，知悉自己獲得全國五一勞動奬章時，張衛教授正在辦公室修改學生論文。談及榮獲奬章，他說： “榮譽隻代錶過去，我得繼續努力工作，每天都有很多事情要做。”

疫情期，張衛返迴校園值守崗位已有一個月。他的每一天都很平常，從住所到辦公室兩點一綫。大部分時間，張衛坐在辦公桌前，敲著電腦鍵盤，一坐就是幾個小時。

正值畢業季，張衛每天都在花時間審閱、修改學生們的論文。張衛說：“如果學生做得不好，那一定是我的原因。”有時候為瞭論文中的一段文字，他會和學生反復討論和斟酌，力求描述準確。五一勞動節當天，他早上7點多就到辦公室，查找文獻、修改學生的論文，午飯剛過就開始在網上審評論文。

返校以來，除瞭教學和科研工作，他還關愛學院師生，擔起疫情防控的一方責任。作為微電子學院院長，他說， “堅持在第一綫防疫，這是我的責任” 。藉用張衛的話，他就是“一個平凡的人”。但是，在這平淡平凡的背後，有著責任和擔當。

搭建第一套原子層沉積

技術的實驗研究平台

時光迴到20多年前。

1995年6月，張衛博士畢業後到復旦大學做博士後，閤作導師是電子工程係的王季陶教授。在這期間，他瞄準本領域的國際學術前沿，開展瞭先進銅互連技術和低介電常數互連介質等研究，並取得瞭很好的學術成績。博士後齣站後，張衛留校工作，繼續專注於集成電路領域的創新研究。

之後，張衛在德國做瞭一年半的洪堡學者，2002年5月他迴到復旦大學。在學校和學院領導的大力支持下，他在國內率先開展瞭原子層沉積(ALD)高k柵介質的研究。2003年他搭建瞭國內第一台原子層沉積實驗設備，隨後他組織舉辦瞭第一屆中國原子層沉積技術學術會議，邀請瞭國內外ALD領域專傢參會，迅速擴大瞭復旦大學在集成電路前沿領域的國際影響力。

如今，中國原子層沉積學術會議(CALD)已成功舉辦瞭9屆。張衛教授團隊在原子層沉積領域的研究也取得瞭豐碩成果，發錶相關學術論文120多篇。

“做科研就是要鍥而不捨”

28年，張衛從一個初齣茅廬的科研人員，成長為國內集成電路領域的領軍人物，獲得無數榮譽。這一切的背後，離不開他的“死磕”。在他看來， “做科研，是我的工作，也是我長久的堅守。”

微電子學院青年教師孫清清，2004年還是一名大四的學生，當時他在張衛教授課題組做畢業設計。每次跟來自美國的工程師一起安裝設備的時候，他發現旁邊總有一個人，那就是張衛。

“幾天接觸下來，我感覺張老師是一個非常嚴謹的人，能從他身上學到東西。”本科畢業後孫清清跟著張衛教授攻讀研究生。他和張衛的緣分，自2004年延續至今。孫清清也已成長為一名學科帶頭人。

“有時候，在大傢覺得‘沒必要’或‘不可能’的時候，他就不放棄，死磕，最後成功推進瞭。” 孫清清說。

“集成電路領域的研究需要産學研深度閤作。”孫清清迴憶，“張老師經常帶著我們跟企業去談，有時候每周都要飛過去”。“是張老師的堅持打動瞭對方，最終閤作得以成功。”孫清清說，如果中間不堅持，事情肯定就“泡湯”瞭。

微電子學院2019年直博士徐航說：“老師對科研的態度非常認真嚴謹。有問題找他時，討論中，他連一些小細節都不放過。他還會就你提齣來的問題發散到麵上，讓你看到一些之前沒考慮的問題，幫你理清科研思路。”

憑著這份韌勁，張衛幾十年如一日，在科研路上孜孜不倦。 近年來，他牽頭承擔瞭8項國傢和上海市重大、重點科研項目，在Science、Nature Materials、IEEE Electron Device Letters、IEEE TED等本領域國內外學術期刊及會議上 發錶論文300多篇，申請發明專利180多項 。

不僅傳授知識

更要做有價值的人生導師

“作為一名老師，首要任務是教書育人，為行業培養高質量的人纔。” 張衛說。除瞭潛心探索科研工作，張衛堅守在教學一綫。他給本科生講授《半導體材料》課程。一位復旦大學微電子專業20年前畢業的學生，現在已是企業高管，依然對張老師激情講授的《半導體材料》課程印象深刻。

在張衛看來，“大學教育對一個學生未來職業規劃和選擇非常重要。作為老師，我想不僅僅是做科研，更是作為人生導師。不僅傳授知識，更要活用我過去幾十年的人生閱曆，引導他們成長。”

多年來，他培養瞭一大批集成電路領域的優秀人纔，其中5人獲得國傢高層次人纔等稱號，40多人擔任我國集成電路頭部企業高管和核心技術人員，成長為我國集成電路領域的領軍人物。

這兩年，張衛還為高中生先修課堂上課，講授“改變世界的芯片技術”。他說，芯片是現代工業的糧食，是我們國傢高科技強國建設的重要一環，希望通過先修課堂，讓中學生對研究有瞭解，激發他們對科研世界的思考。

主動對接國傢重大戰略需求

為“第一個復旦”建設貢獻力量

談到未來微電子學院的發展，張衛說， 學院將麵嚮學科前沿和國傢重大戰略的需求，在平台建設、科研創新和人纔培養等方麵積極進取 ，特彆是要探索集成電路人纔培養的新模式，解決産業核心技術問題，培養産業急需的創新型領軍人纔，走齣一條新路徑。

張衛說，集成電路是信息産業的基礎。復旦大學集成電路學科成為教育部公布的新一輪“雙一流”學科建設名單中全國高校唯一入選的“集成電路科學與工程”學科。復旦大學微電子學院已是國傢示範性微電子學院的典型代錶，將努力建設成為集成電路基礎源頭創新、前瞻性技術攻關和高層次人纔培養的國際一流微電子學院，為建設特色鮮明、引領創新、享譽世界學術殿堂的“第一個復旦”作貢獻。

離開科研、教學，張衛的生活很簡單，平常他最喜歡的活動就是跟傢人一起打乒乓球或羽毛球。長期以來，他保持良好作息習慣，每天晚上11點之前睡覺，早上6點鍾起床，以充沛的精力投入到新的一天。

受疫情影響，這段時間微電子學院實驗室暫時“停擺”。作為導師，為瞭緩解學生的科研焦慮，張衛做瞭一些調整，讓科研不間斷，包括布置閱讀新的文獻、總結前期實驗經驗、討論進一步完善實驗計劃……做實做足前期功課，等待條件允許時快速投入、推進實驗。

在“五四”青年節來臨之際，張衛寄語：“復旦青年有理想、有抱負。你們處在一個偉大的時代，要樹立遠大目標，將個人的規劃和國傢的需求緊密結閤，努力成為擔當民族復興大任的時代新人。”

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融媒體中心

文 字

章佩林

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王�h、受訪者提供

責 編

汪禎儀

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