發表日期 3/28/2022, 3:20:46 PM
近日,中微公司全資子公司南昌中微接到來自兆馳半導體52腔Prismo UnimaxMOCVD設備采購訂單,簽約儀式日前已於江西南昌高新區順利舉行。
圖片來源:南昌日報
資料顯示,兆馳半導體是兆馳股份的全資子公司,位於江西省南昌市高新開發區,是一傢專業從事LED外延片和芯片的研發、生産的高科技企業,總投資100億元,占地約500畝,一期建築麵積約27萬多平方米。
據悉,今年3月17日,兆馳股份曾發布公告宣布計劃投資50億元,在南昌高新區投資建設MiniLED芯片及RGB小間距LED顯示模組項目。其中,設備投資約25億元。
該項目計劃采購52腔MOCVD設備及相應産能芯片及配套設備用於生産氮化鎵MiniLED芯片,同時新增300-500條采用COB技術的小間距LED顯示模組産綫。項目預計於2023年完成設備安裝調試並正式投入運營。
據介紹,Prismo UniMax是中微公司於2021年6月發布的用於高性能MiniLED量産的MOCVD設備,該設備在同一係統中可配備多達4個反應腔,並配置瞭多區溫度補償加熱係統,具備優異的波長均勻性、重復性和穩定性。
中微公司MOCVD設備優化設計的噴淋頭實現瞭更好的均勻性和産齣穩定性、超大直徑石墨托盤可大幅提升客戶産能並降低成本;通過石墨盤晶片排布的最優化,Prismo UniMax的加工容量可以延伸至生長164片4英寸或72片6英寸晶片。
中微公司錶示,公司Prismo UniMaxMOCVD設備訂單已超180腔,是繼去年12月Prismo UniMaxMOCVD設備訂單超100腔以來公司取得的又一次重要突破,為公司未來更多的MOCVD産品開拓市場奠定瞭堅實的基礎。
目前,中微公司開發的等離子體刻蝕設備已被廣泛應用於國際一綫客戶從65納米到5納米及更先進工藝的眾多刻蝕應用;開發的用於LED和功率器件外延片生産的MOCVD設備已在客戶生産綫上投入量産。(來源:中微公司、LEDinside整理)
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